等離子廢氣處理設備內部產生富含化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較量的活性基團發生反應，終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。

　　等離子廢氣處理設備去除污染物的機理：

　　等離子廢氣處理設備化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

　　(1)電場＋電子→電子

　　(2)電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

　　(3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

　　(4)活性基團＋活性基團→生成物+熱

　　從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

　　低溫等離子廢氣凈化器去除污染物的原理：

　　在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。